特許

J-GLOBAL ID：200903039833551310

カラー固体撮像装置

発明者： 片白 雅浩
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-045636
公開番号（公開出願番号）：特開平9-219505
出願日： 1996年02月08日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】 多結晶シリコン層を含む多層膜を通った光を電気信号に変換する固体撮像装置においても、良好な色分解機能を得ることができるようにしたカラー固体撮像装置を提供する。【解決手段】 CMDの光電変換領域1上に、2層の酸化シリコン層2と窒化シリコン層4を形成し、その上にゲート電極を構成する多結晶シリコン層5を形成し、更に多結晶シリコン層5上に酸化シリコン層2と酸化チタン層3を交互に多数層積層する。そして酸化シリコン層2で色分解機能を有する領域の低屈折率物質層を構成し、酸化チタン層3,窒化シリコン層4,多結晶シリコン層5で色分解機能を有する領域の高屈折率物質層を構成する。これにより、光が光電変換領域1に入射する直前まで干渉効果が働き、良好な色分解機能が得られる。

請求項（抜粋）：

多結晶シリコン層を含む多層膜を通った光を電気信号に変換する領域と、λ0 /4(λ0 :光学的中心波長)の光学的膜厚を有する高屈折率物質層と低屈折率物質層を交互に積層してなる色分解機能を有する領域とを備えたカラー固体撮像装置において、前記高屈折率物質層として前記多結晶シリコン層が含まれていることを特徴とするカラー固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/146 ,  H01L 27/14 ,  H04N 9/07

FI (3件)：

H01L 27/14 A ,  H04N 9/07 A ,  H01L 27/14 D