特許

J-GLOBAL ID：200903039834201665

共焦点装置のスリット円盤、共焦点装置および共焦点装置の画像測定方法

発明者： 岡▲崎▼ 忠雄
出願人/特許権者： 戸塚 忠男
代理人 (1件)： 横井 俊之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-198049
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021330
出願日： 1999年07月12日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 スリット円盤およびピンホール円盤を複数回周回させなければならず、共焦点画像の高速取り込みができないという課題があった。【解決手段】 共焦点装置10のスリット円盤13に形成するスリットをスリット円盤13の中心から放射線状に形成するのではなく、半径位置1〜5が大きくなるのに対応して略比例して増加するように形成する。これによりスリット円盤13の半径位置1〜5で均等な露光量Rを取得することが可能になる。従って、駆動モータ18によりスリット円盤13を周回させる必要がなくなり、僅かにスリット円盤13を周回方向に移動させることによって、半径位置1〜5にて略均等な露光量Rを取得でき、試料16の共焦点画像を高速に取り込むことが可能になる。

請求項（抜粋）：

所定のスリットが形成されたスリット円盤を回転させることにより、同スリットを通過した反射光を入力して共焦点画像を測定する共焦点装置のスリット円盤であって、上記スリットは、円盤の中心からの半径位置に対応して略比例して増加するように形成されることを特徴とする共焦点装置のスリット円盤。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G02B 21/00

FI (2件)：

G01B 11/24 K ,  G02B 21/00

Fターム (29件)：

2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA07 ,  2F065AA53 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065GG02 ,  2F065GG12 ,  2F065GG24 ,  2F065HH03 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ12 ,  2F065JJ13 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL08 ,  2F065LL29 ,  2F065LL30 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065QQ29 ,  2H052AA08 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC16 ,  2H052AC29 ,  2H052AD35 ,  2H052AF14