特許

J-GLOBAL ID：200903039838939715

集束イオンビーム加工観察装置用試料ホールダ

発明者： 黒田 靖 ,  小池 英巳 ,  上野 武夫
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-290515
公開番号（公開出願番号）：特開2003-100245
出願日： 2001年09月25日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
要約：

【要約】【課題】FIB加工で試料から、微小な試料片を摘出し、TEM用試料に加工する際に、摘出した前記微小試料片を水平に保たれた前記試料台に確実に固定することが可能であり、前記試料台を一定の方向に確実に固定することが可能な集束イオンビーム加工観察装置用試料ホールダを提供する。【解決手段】集束イオンビーム加工観察装置用試料ホールダに備え付ける試料台の微小試料片固定面が常に水平に保たれており、前記試料台を一定の方向に固定するための試料台固定部を備える。

請求項（抜粋）：

集束イオンビームを用いて、試料から微小試料片を摘出し、摘出した前記微小試料片を固定する試料ホールダにおいて、前記微小試料片を固定する試料台の試料固定面が常に水平に保たれていることを特徴とする集束イオンビーム加工観察装置用試料ホールダ。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/28

FI (3件)：

H01J 37/20 A ,  H01J 37/20 C ,  G01N 1/28 G

Fターム (10件)：

2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052DA33 ,  2G052EC18 ,  2G052EC22 ,  2G052GA33 ,  5C001AA01 ,  5C001AA02 ,  5C001AA05 ,  5C001CC03