非破壊検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：越場隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-319120
公開番号（公開出願番号）：特開平7-146277
出願日： 1993年11月25日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：

【要約】【構成】磁気的に安定した検査領域を画成する磁気遮蔽容器4と、磁気遮蔽容器4内に磁界を発生する磁界発生手段2と、磁気遮蔽容器4内の所定の検査領域内の磁界変動をSQUIDを用いて検出する磁気センサとを備え、検査領域内を移動する被検査物1により生じる磁界の変動を検出して、被検査物1に含まれる異物または欠陥を検出する非破壊検査装置であって、共通の磁界に所定の間隔で配置された第1および第2の磁気センサを含む複数の磁気センサを備え、被検査物の特定部分が、第1磁気センサ3aの検査領域を通過した後、所定の時間を経過後に第2磁気センサ3bの検査領域を通過するように構成されている。

請求項（抜粋）：

磁気的に安定した検査領域を画成する磁気遮蔽容器と、該磁気遮蔽容器内に磁界を発生する磁界発生手段と、該磁気遮蔽容器内の所定の検査領域内の磁界変動をSQUIDを用いて検出する磁気センサとを備え、該検査領域内を移動する被検査物により生じる磁界の変動を検出して該被検査物に含まれる異物または欠陥を検出する非破壊検査装置であって、共通の磁界に所定の間隔で配置された第1および第2の磁気センサを含む複数の磁気センサを備え、該被検査物の特定部分が、該第1磁気センサの検査領域を通過した後、所定の時間を経過後に該第2磁気センサの検査領域を通過するように構成されていることを特徴とする非破壊検査装置。

IPC (3件)：

G01N 27/83 ZAA , G01R 33/035 , G01R 33/12

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-245149
特開昭62-085856
特開昭55-048649

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