特許

J-GLOBAL ID：200903039841295268

マイクロ・メカニカル・スイッチ

発明者： 平野 敏樹 ,  古畑 智武 ,  新島 秀人
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 頓宮 孝一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-333784
公開番号（公開出願番号）：特開平5-259404
出願日： 1991年12月18日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】マイクロマシニング技術を用いて製造されるマイクロ・メカニカル・スイッチを提供する。【構成】平面な板である基板1上の端部には、絶縁体層2が所定の空間4で離隔されて形成されている。絶縁体層2には、基板1上の一端の絶縁体層2に向う方向に急激に細くなる任意の形状を有するスイッチ接片3が形成される。切替時には、基板1-接片3間に高電圧Vを印加すると、接片3の細くなった部分が破断を起こし、その一部は基板1に接触したままとなり、二度と離れなくなる。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された電気回路の領域及びスイッチ群の領域からなる半導体チップにおいて、前記スイッチ群の領域の各スイッチ領域の基板上の端部に積層され、所定の空間によって隔離された絶縁体層と、この絶縁体層上に形成され、前記各スイッチ領域の前記基板上の一端の絶縁体層に向かう方向に急激に細くなる任意の形状を有する接片とからなり、切替状態では、前記接片の細くなった部分に破断を発生させ、前記接片の破断部分は前記各スイッチ領域の前記基板に接触されたままの状態に保持されていることを特徴とするマイクロ・メカニカル・スイッチ。

IPC (2件)：

H01L 27/10 491 ,  H01S 3/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-029544
  
• 特開昭63-055955
  
• 特開昭60-231350