特許

J-GLOBAL ID：200903039844994892

電子顕微鏡画像のパターンマッチング方法

発明者： 広瀬 寛
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-185165
公開番号（公開出願番号）：特開平10-031729
出願日： 1996年07月15日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：

【要約】【課題】 対物レンズの結像位置を試料に合致させた状態(合焦状態)で実行されている電子顕微鏡像に対するパターンマッチングは、低倍率画像や線幅の狭いパターンに対しては、パターン情報の読み取りが不安定となるので、パターンマッチングの精度を確保するためには、画像の積算回数を増したり、スキャニングスピードを遅くしたりせざるを得ず、パターンマッチングの高速化を妨げる一要因となっている。【解決手段】 対物レンズの結像位置を試料に対して不合致状態とし、試料上の電子線スポット径を合焦状態における電子線スポット径よりも大きくしてパターン情報を読み取ることとした。

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡を用いて得たテンプレート画像と電子顕微鏡を用いて得た画像の一致を見る電子顕微鏡画像のパターンマッチング方法において、対物レンズの結像位置を試料に対して不合致状態としたときに得られる画像データによってパターンマッチングを行うことを特徴とする電子顕微鏡画像のパターンマッチング方法。

IPC (7件)：

G06T 1/00 ,  G01B 21/30 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 9/00 ,  G06T 7/00 ,  H01J 37/22 502 ,  H01L 21/66

FI (7件)：

G06F 15/62 380 ,  G01B 21/30 Z ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 9/00 H ,  H01J 37/22 502 H ,  H01L 21/66 J ,  G06F 15/70 455 Z