特許

J-GLOBAL ID：200903039847246463

マルチドット回折格子アレイの作成方法及び装置

発明者： 高橋 進
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-077000
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271710
出願日： 1995年04月03日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】 低コストで大面積のマルチドット回折格子アレイを高速、かつ省力化して作成出来ると共に、高自由度で複雑なマルチドット回折格子アレイを比較的簡単に作成し得るマルチドット回折格子アレイの作成方法及び装置を提供する。【構成】 ドット枠を規定する開口部16を有する少なくとも一種類のマスク版6と、所定の格子パターン15を有する原版5を光源2およびズームレンズ17や結像レンズ等の結像光学系を用いてX,Y方向に走査するステージ19上の感光材料7に露光結像させ、ドット単位の回折格子要素の集まりからなるマルチドット回折格子アレイを作成する。感光材料7の移動と原版5およびマスク版の回転やズームレンズ17等の倍率を変えることにより各種のドット面積(A),回折格子方位,回折格子ピッチを有するマルチドット回折格子アレイが出来る。

請求項（抜粋）：

所定の外形および寸法を有するドット枠に対して、所定の格子パターンを所定の方位および倍率で割り当て回折格子要素をドット単位で形成し、該ドットを二次元的に配列してなるマルチドット回折格子アレイの作成方法であって、前記ドット枠を規定する開口部を有するマスク版を少なくとも一種類用意する手順と、前記所定の格子パターンを有する原版を少なくとも一種類用意する手順と、光源と感光材料との間に介在する結像光学系の光路に前記マスク版および原版を挿入し、所定の方位で前記ドット枠と格子パターンを合成した状態で前記感光材料の表面に所定の倍率で結像する露光手順と、前記結像光学系を前記感光材料に対して相対的に二次元走査しながら前記露光手順をドット単位で繰り返し行い所定の回折格子要素を順次形成する走査手順とを行うことを特徴とするマルチドット回折格子アレイの作成方法。