特許

J-GLOBAL ID：200903039848358370

有機エレクトロルミネッセンス薄膜の作製方法と作製装置

発明者： 藤田 克彦 ,  筒井 哲夫
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 筒井 知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-265210
公開番号（公開出願番号）：特開2002-075641
出願日： 2000年09月01日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】 高分子材料や熱的に不安定な有機材料を原料とする製膜にも対応でき、異なった材料の積層構造や塗り分けが可能であり、材料溶液の濃度が極めて低い場合でも製膜できる、有機エレクトロルミネッセンス(EL)素子用有機薄膜の作製技術を提供する。【解決手段】 有機EL素子の発光層またはキャリア輸送層の原料となる有機材料が溶媒中に溶解または分散している原料液をエアロゾル化し、エアロゾル中の溶媒を気化させることにより生成する有機材料の微粒子を基板上に付着させることによって基板上に有機材料の薄膜を形成する有機EL薄膜の作製方法と該方法に使用される装置。

請求項（抜粋）：

有機エレクトロルミネッセンス素子の発光層またはキャリア輸送層の原料となる有機材料が溶媒中に溶解または分散している原料液をエアロゾル化し、該エアロゾル中の前記溶媒を気化させることにより生成する前記有機材料の微粒子を基板上に付着させることによって該基板上に該有機材料の薄膜を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス薄膜の作製方法。

IPC (4件)：

H05B 33/10 ,  B05B 7/04 ,  B05D 3/10 ,  H05B 33/14

FI (4件)：

H05B 33/10 ,  B05B 7/04 ,  B05D 3/10 E ,  H05B 33/14 A

Fターム (20件)：

3K007AB04 ,  3K007AB18 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4D075AA02 ,  4D075AA86 ,  4D075AE03 ,  4D075BB85Z ,  4D075DA06 ,  4D075DB14 ,  4D075DC22 ,  4D075EA02 ,  4F033QB02Y ,  4F033QB03X ,  4F033QD02 ,  4F033QD11

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭56-116293
  
• 薄膜製造方法および薄膜製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-007419   出願人：工業技術院長, 大日精化工業株式会社, 平賀隆, 守谷哲郎
• スクリーンマスク及び薄膜の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-043044   出願人：カシオ計算機株式会社
• 成膜方法、有機EL素子の製造方法及び成膜装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-178600   出願人：カシオ計算機株式会社