特許

J-GLOBAL ID：200903039849508600

MEMSセンサシステムおよび方法

発明者： ニール・アール・フェドラ
出願人/特許権者： ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド
代理人 (6件)： 社本 一夫 ,  小野 新次郎 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  西山 文俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-292808
公開番号（公開出願番号）：特開2007-121304
出願日： 2006年10月27日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：

【課題】微小電子機械システムにおける位置合わせ不良誤差を低減する。【解決手段】方法は、直交するように向けられた1対の加速度計120-1、120-2および直交するように向けられた1対のジャイロスコープ125-1、120-2の一方または両方を備える、少なくとも1対の慣性センサ120-1,2、125-1,2を有する第1のシリコンウェハセグメント110を製作するステップと、加速度計120-3およびジャイロスコープ125-3の一方または両方を備える、少なくとも1つの慣性センサ120-3、125-3を有する第2のシリコンウェハセグメント115を製作するステップと、少なくとも1対の慣性センサおよび前記少なくとも1つの慣性センサが互いに直交して向けられるように、第1のシリコンウェハセグメントと第2のシリコンウェハセグメントを組み合わせるステップと、第2のシリコンウェハセグメントに第1のシリコンウェハセグメントを接着するステップと、を含む。【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

直交するように向けられた1対の加速度計(120-1、120-2)および直交するように向けられた1対のジャイロスコープ(125-1、120-2)の一方または両方を備える、少なくとも1対の慣性センサ(120-1,2、125-1,2)を有する第1のシリコンウェハセグメント(110)を製作するステップと、 加速度計(120-3)およびジャイロスコープ(125-3)の一方または両方を備える、少なくとも1つの慣性センサ(120-3、125-3)を有する第2のシリコンウェハセグメント(115)を製作するステップと、 前記少なくとも1対の慣性センサ(120-1、120-2、125-1、120-2)および前記少なくとも1つの慣性センサ(120-3、125-3)が互いに直交して向けられるように、前記第1のシリコンウェハセグメント(110)と前記第2のシリコンウェハセグメント(115)を組み合わせるステップと、 前記第2のシリコンウェハセグメント(115)に前記第1のシリコンウェハセグメント(110)を接着するステップと、 を含む、6自由度の慣性センサを製造する方法。

IPC (5件)：

G01P 15/18 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 ,  B81C 3/00

FI (5件)：

G01P15/00 K ,  G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84 Z ,  B81C3/00

Fターム (15件)：

2F105AA05 ,  2F105BB03 ,  2F105CC04 ,  2F105CD01 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112DA02 ,  4M112DA04 ,  4M112DA16 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA11 ,  4M112EA18 ,  4M112FA20