特許
J-GLOBAL ID:200903039865502949
壁面検査装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
光石 俊郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-057632
公開番号(公開出願番号):特開平11-258189
出願日: 1998年03月10日
公開日(公表日): 1999年09月24日
要約:
【要約】【課題】 析出物を剥離と汚損から分離して判定することができる壁面検査装置を提供するにある。【解決手段】 検査対象となる壁面を熱する加熱手段1と、加熱後の壁面の温度分布を検出する温度分布検出手段2と、壁面の輝度を検出する輝度検出手段3とを有する壁面検査装置において、温度分布検出手段で検出した温度分布の高温領域を判定する高温領域判定部と、輝度検出手段で検出した輝度から輝度レベルが低く且つ輝度レベルの偏差が大きい低輝度・高輝度偏差領域を判定する低輝度・高輝度偏差領域判定部と、高温領域判定部で判定された高温領域から低輝度・高輝度偏差領域判定部で判定された低輝度・高輝度偏差領域を除外して残りの領域を剥離と判定する剥離判定部8とを有することを特徴とする。
請求項(抜粋):
検査対象となる壁面を熱する加熱手段と、加熱後の壁面の温度分布を検出する温度分布検出手段と、壁面の輝度を検出する輝度検出手段とを有する壁面検査装置において、温度分布検出手段で検出した温度分布の高温領域を判定する高温領域判定部と、輝度検出手段で検出した輝度から輝度レベルが低く且つ輝度レベルの偏差が大きい低輝度・高輝度偏差領域を判定する低輝度・高輝度偏差領域判定部と、高温領域判定部で判定された高温領域から低輝度・高輝度偏差領域判定部で判定された低輝度・高輝度偏差領域を除外して残りの領域を剥離と判定する剥離判定部とを有することを特徴とする壁面検査装置。
IPC (5件):
G01N 25/72
, E21D 11/00
, G01J 5/48
, G06T 1/00
, G06T 7/00
FI (5件):
G01N 25/72 K
, E21D 11/00 Z
, G01J 5/48 A
, G06F 15/62 380
, G06F 15/70 320
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