特許

J-GLOBAL ID：200903039867863850

弾性表面波素子

発明者： 井手 治人
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-161270
公開番号（公開出願番号）：特開2001-345667
出願日： 2000年05月30日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【課題】 導電性異物付着によって櫛歯状電極で電極ショート等が無く、圧電基板のもつ焦電性に起因する電極指間の放電による特性劣化の無い信頼性の非常に優れた弾性表面波素子を提供すること。【解決手段】圧電基板1上に櫛歯状電極2を設けて成る弾性表面波素子において、櫛歯状電極2の保護膜3をシリコンにボロンをドープして形成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

圧電基板と、該圧電基板上で櫛歯形状の電極指が互いに交叉して対向するように設けた櫛歯状電極と、該櫛歯状電極の表面を保護膜で被覆してなる弾性表面波素子において、前記保護膜にボロンをドープしたシリコンを用いたことを特徴とする弾性表面波素子。

IPC (2件)：

H03H 9/145 ,  H03H 3/08

FI (2件)：

H03H 9/145 C ,  H03H 3/08

Fターム (10件)：

5J097AA26 ,  5J097BB11 ,  5J097DD28 ,  5J097DD29 ,  5J097EE10 ,  5J097FF01 ,  5J097FF03 ,  5J097FF05 ,  5J097HA02 ,  5J097KK05