特許
J-GLOBAL ID：200903039868951213

基板の検査装置

発明者：
梅村 信行

梅村 信行 について


出願人/特許権者：
シーケーディ株式会社

シーケーディ株式会社 について


代理人 (1件)： 川口 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-355381
公開番号（公開出願番号）：特開2006-162469
出願日： 2004年12月08日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：
【課題】基板上に設けられたクリームハンダ又はバンプに関する検査を行うに際し、より正確な検査を実現することの可能な基板の検査装置を提供する。【解決手段】プリント基板Kに対し、下部リングライト13より、斜め方向から365nm以上420nm以下の範囲内にピーク波長をもつ紫外線が照射される。より小さな入射角で上部リングライト12により、610nm以上680nm以下の範囲内にピーク波長をもつ赤色光が照射される。プリント基板Kのほぼ真上に設けられたCCDカメラ6により、紫外線の照射された基板Kからの反射光及び赤色光の照射された基板Kからの反射光が撮像される。CCDカメラ6にて撮像された各画像データに基づき二次元検査部8Aではクリームハンダの領域が抽出され、所定の検査が行われる。CCDカメラ6は可視光用の光学系を具備し、滲みを生じさせることで「中べこ」による影響が払拭される。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
クリームハンダ又はバンプの設けられてなる基板に対し、斜め方向から365nm以上420nm以下の範囲内にピーク波長をもつ紫外線を照射可能な紫外線照射手段と、 前記基板のほぼ真上に設けられ、前記紫外線の照射された前記基板からの反射光を撮像可能な撮像手段と、 前記撮像手段にて撮像された画像データに基づき、前記クリームハンダ又はバンプの領域を抽出した上で所定の検査を行う検査手段と を具備することを特徴とする基板の検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ,  H05K 3/34 ,  G01B 11/24
FI (3件)：
G01N21/956 B ,  H05K3/34 512B ,  G01B11/24 K
Fターム (40件)：
2F065AA09 ,  2F065AA20 ,  2F065AA24 ,  2F065AA51 ,  2F065AA58 ,  2F065AA59 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065CC26 ,  2F065DD04 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF10 ,  2F065FF41 ,  2F065GG17 ,  2F065GG23 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065NN06 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ25 ,  2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051BA01 ,  2G051BA04 ,  2G051BA05 ,  2G051BA08 ,  2G051CA04 ,  2G051DA05 ,  2G051ED21 ,  5E319AC01 ,  5E319BB05 ,  5E319CD26 ,  5E319CD53 ,  5E319GG15
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (7件)
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