特許
J-GLOBAL ID：200903039873458770
塗布液の塗布・硬化方法、カラーフィルタの製造方法およびこれらの装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
津川 友士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-185945
公開番号（公開出願番号）：特開平9-029167
出願日： 1995年07月21日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：
【要約】【課題】 温度ムラによる欠点のない塗膜形成物を得る。【解決手段】 基板外端部を除く基板中央部分に塗布液を塗布する塗布部10と、減圧乾燥を行う減圧乾燥部30と、塗布液を加熱硬化する加熱硬化部50とを設けた。
請求項（抜粋）：
基板外端部を除く基板中央部分に塗布液を塗布した後、減圧乾燥を行い、塗布液を加熱硬化することを特徴とする塗布液の塗布・硬化方法。
IPC (7件)：
B05D 1/40
, B05C 1/02 104
, B05C 21/00
, B05D 7/00
, G02B 5/20 101
, G03F 7/16 501
, H01L 21/027
B05D 1/40 A
, B05C 1/02 104
, B05C 21/00
, B05D 7/00 H
, G02B 5/20 101
, G03F 7/16 501
, H01L 21/30 564 Z
, H01L 21/30 565
