測定顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-302861
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159128
出願日： 1993年12月02日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】本発明は、位置データに基づいて軌跡に沿うように移動ステージを移動制御し、習熟してない人でも短時間で正確な測定を実現させることにある。【構成】移動ステージ(2)の試料(1)を撮影して画像信号を入力する画像入力手段(4)と、この入力される画像信号に基づいて試料を表示画面に表示する画像表示手段(7)と、座標入力面の絶対位置データを入力及び指示可能な絶対位置入力手段(21)と、絶対位置入力手段から入力される絶対位置データを表示画面における画面内位置データに変換してこのデータに対応してカーソルを表示画面に表示するカーソル表示手段(25)と、カーソル表示手段により表示されるカーソルが移動し、絶対位置入力手段から絶対位置データが指示されたとき、絶対位置データに対応して移動ステージを軌跡に沿って移動させる移動指令を移動ステージに送出する移動ステージ制御手段(26)とを備えた測定顕微鏡。

請求項（抜粋）：

試料が載置された移動ステージを水平方向に移動させ、当該移動中に前記試料の両端部を検出することにより、当該試料の両端部間の距離又は形状を測定可能な測定顕微鏡において、前記移動ステージ上の試料を撮影してその画像信号を入力する画像入力手段と、この画像入力手段から入力される画像信号に基づいて、前記試料を表示画面に表示する画像表示手段と、平板状に形成された座標入力面を有し、この座標入力面における絶対位置データを入力すると共に、該絶対位置データを指示可能な絶対位置入力手段と、この絶対位置入力手段により入力される前記座標入力面における絶対位置データを前記表示画面における画面内位置データに変換し、且つこの画面内位置データに対応してカーソルを前記表示画面に表示するカーソル表示手段と、このカーソル表示手段により表示されるカーソルが移動し、前記絶対位置入力手段により絶対位置データが指示されたとき、該絶対位置データに対応して前記移動ステージを所定の軌跡に沿うように移動制御させる移動指令を前記移動ステージに送出する移動ステージ制御手段とを備えたことを特徴とする測定顕微鏡。

IPC (3件)：

G01B 11/03 , G01B 11/24 , G02B 21/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

特公平4-021124
特開昭63-098506
特公平4-021124

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