特許

J-GLOBAL ID：200903039876722355

物質サンプルの特性決定方法及びその利用法

発明者： ポール フレデリック フュースター ,  ヨハネス ヘリアン オイセビウス クラッペ
出願人/特許権者： フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-320046
公開番号（公開出願番号）：特開平6-229950
出願日： 1993年12月20日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【目的】 迅速に物質サンプルの特性を決定する方法を提供する。【構成】 サンプル1の測定により特定の特性に起因する特徴を持つ実験プロファイル2を得、一方選択したパラメーターを用いて計算プロファイル5を得る。実験プロファイルの構造的特徴3,4 を減らすために一定のスムージングを行い、スムージングされた実験プロファイル21aを得、同一程度のスムージングを計算プロファイル5にも施してスムージングされた計算プロファイル51aを得る。プロファイル51aと21aとを比較し、両者の差を求め、両者の合致が得られるまで、少なくとも1つのパラメーターを変えて計算プロファイルを修正する。このステップをスムージングの程度を減らしながら、構造的特徴が再現され、計算プロファイル5bと実験プロファイル2との充分な合致が得られるまで繰り返す。合致が得られたときのパラメーターを用いて特性を求める。

請求項（抜粋）：

a)サンプルについて測定し、少なくとも一部分は所定の特性によって決まる構造的特徴を持つ実験プロファイルを得ること、b)選択したパラメーターを用いてサンプルについて期待されるプロファイルを計算すること、c)実験プロファイルに対して一定のスムージングを施して構造的特徴を減らし、これによってスムージングを施した実験プロファイルを生成すること、d)計算プロファイルに対して同程度のスムージングを施してスムージングを施した計算プロファイルを生成すること、e)スムージングを施した計算プロファイルをスムージングを施した実験プロファイルと比較し、スムージングを施した計算プロファイルとスムージングを施した実験プロファイルとの間の差を求めること、f)計算プロファイルを少なくとも1つのパラメーターを変えることによって修正し、スムージングを施し修正した計算プロファイルがスムージングを施した実験プロファイルと合致するまでこの修正を行うこと、g)各回に前回より少ない程度のスムージングを用いてステップc)乃至f)を繰り返し、その結果、構造的特徴を再現し且つ最終的に修正した計算プロファイルを実験プロファイルに対して目標内に合致させ、これにより、最終的に修正したプロファイルについて用いたパラメーターから所定の特性を求めることを可能にすることを含むことを特徴とする物質サンプルの特性決定方法。