特許
J-GLOBAL ID：200903039886478428
集積化バルブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三宅 景介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-215931
公開番号（公開出願番号）：特開平10-047514
出願日： 1996年07月30日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】 バルブの脱着を、バルブを分解することなく簡単にでき、またバルブの接合部のシール性を向上でき、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテナンスを簡単にできる集積化バルブを提供する。【解決手段】 半導体用高純度ガス供給系に使用されるバルブが集積された集積化バルブに於いて、バルブ1のボディ3自体の外周に外ねじナット14を装着し、外ねじナット14にて流路ブロック15にねじ結合する。バルブ1のボディ3自体と流路ブロック15との接合面に、ガス通路穴24を有するガスケット25を介在してシールしてある。
請求項（抜粋）：
半導体用高純度ガス供給系に使用されるバルブが集積された集積化バルブに於いて、上記バルブのボディ自体の外周に外ねじナットを装着し、該外ねじナットにて流路ブロックにねじ結合したことを特徴とする集積化バルブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F16K 27/00 C
, F16K 7/12 Z
