特許

J-GLOBAL ID：200903039887386420

ウェハ取り出し装置

発明者： 吉開 明
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-111506
公開番号（公開出願番号）：特開2002-313881
出願日： 2001年04月10日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
要約：

【要約】【課題】容器10から層間シ-ト13またはウェハ14を取り出すウェハ取り出し装置において、緩衝シ-トである層間シ-ト13とウェハ14の分離を確実にしウェハ14を容器10から取り出しする。【解決手段】真空吸着パッド9により層間シ-ト13の周辺部を保持してから、連結管4のベロ-5の縮みにより、真空吸着パッド9を傾かせ、ウェハ14の端部から層間シ-ト13を剥がしウェハ14と層間シ-ト13を分離する。

請求項（抜粋）：

ウェハと層間シ-トとを交互に積み重ねて収納する保管する容器から前記層間シ-トと前記ウェハを分離し前記ウェハおよび前記層間シ-トを取り出すウェハ取り出し装置において、真空ポンプと開閉バルブを介して接続される主真空排気管と、該主真空排気管から分岐される複数の分岐管と、該分岐管に接続されるとともに前記層間シ-トまたは前記ウェハの周辺部を真空吸着する複数の真空吸着パッドと、前記層間シ-トと前記ウェハの端部が互いに剥がれるように真空吸引力により湾曲変形させる屈折機構をとを備えることを特徴とするウェハ取り出し装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65G 1/00 543 ,  B65G 49/07 ,  B65G 59/04

FI (4件)：

H01L 21/68 B ,  B65G 1/00 543 F ,  B65G 49/07 G ,  B65G 59/04

Fターム (13件)：

3F022AA08 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022KK10 ,  3F030AA02 ,  3F030BC00 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA30 ,  5F031GA24 ,  5F031NA04