特許

J-GLOBAL ID：200903039887438241

走査型プローブ顕微鏡および試料・プローブ交換方法

発明者： 森川 麻紀
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-046925
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235416
出願日： 2000年02月24日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【課題】 試料やプローブの交換時間を短縮し連続観察の時間を大幅に短縮することができる走査型プローブ顕微鏡およびその試料・プローブ交換方法を提供する。【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡において、真空容器1をゲートバルブ2で仕切られた第1の室11および第2の室31に分割し、第1の室11を大気圧状態にして、第1の室11のカルーセル14に試料18、プローブ19を設置した後第1の室11を真空にし、ゲートバルブ2を開いて第1の室11と第2の室31を連結し、第1の室11側の操作スチック20で第1の室11のカルーセル14上の試料18、プローブ19を第2の室31内のカルーセル34上に移動させ、第2の室34側の操作スチック38で第2のカルーセル34から試料を試料台32に、プローブをプローブ支持台36に設置する。

請求項（抜粋）：

ゲートバルブで仕切られた第1の室および第2の室と、前記第1の室を真空にする第1の真空系と、前記第2の室を真空にする第2の真空系と、前記第1の室内に配された第1のカルーセルと、前記第2の室内に配された第2のカルーセルと、前記第2室内に配された試料台と、前記試料台を二次元的に移動させる走査手段と、前記試料台に対向して試料を観察するプローブを配置するプローブ設置手段と、前記第1のカルーセルから前記第2のカルーセルに試料またはプローブを移動させる操作スチック手段と、前記第2のカルーセルから試料を前記試料台に、プローブを前記プローブ設置手段に設置させる第2の操作スチック手段を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 13/10 ,  G01B 21/30

FI (3件)：

G01N 13/10 D ,  G01N 13/10 Z ,  G01B 21/30 Z

Fターム (16件)：

2F069AA60 ,  2F069AA61 ,  2F069CC06 ,  2F069DD15 ,  2F069DD25 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG58 ,  2F069GG65 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ08 ,  2F069KK10 ,  2F069LL10 ,  2F069MM26 ,  2F069MM32 ,  2F069MM38