特許

J-GLOBAL ID：200903039889719191

基板検出装置および基板検出方法

発明者： 小山 芳弘
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 稲岡 耕作 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-047628
公開番号（公開出願番号）：特開平11-251411
出願日： 1998年02月27日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【解決手段】 ウエハWが収容されたカセットCがカセット載置台1上に載置されると、ウエハ検出器2が、カセットCの上方まで一旦移動された後に下方へ移動される。この過程でウエハ検出器2から出力される基板検出信号の波形は、検出波形としてメモリに記憶される。次に、メモリに予め記憶されている基準波形と新たに記憶された検出波形とが比較される。そして、基準波形と検出波形との違いに基づいて、カセットC内の各収容棚SLにおけるウエハWの有無が判別される。【効果】リニアエンコーダを用いずに、カセットC内の各収容棚SLにおけるウエハWの有無を判別することができる。

請求項（抜粋）：

基板を収容可能な複数の収容棚を有するカセットを載置するためのカセット載置台と、このカセット載置台に載置されているカセット内の基板の有無に応じた基板検出信号を出力する基板検出手段と、この基板検出手段と上記カセット載置台とを相対的に移動させる移動手段と、基準波形を記憶する基準波形記憶手段と、上記移動手段によって上記カセット載置台および上記基板検出手段を相対的に移動させ、この移動の過程において上記基板検出手段から出力される基板検出信号の波形と上記基準波形記憶手段に記憶されている基準波形とを比較して、上記カセット載置台に載置されているカセット内の各収容棚における基板の有無を判別する判別手段とを含むことを特徴とする基板検出装置。