特許
J-GLOBAL ID：200903039889913281
高速粒子線発生装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-247705
公開番号（公開出願番号）：特開平7-105894
出願日： 1993年10月04日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】 (修正有)【構成】プラズマ形成手段にプラズマ14の電位を規定するための電極15と、プラズマからイオンを取り込む電極16および取り込まれたイオンを加速する電極17を設置し、イオンを取り込む電極の電位をプラズマの電位に対し、調節可能とする手段を付加した。【効果】プラズマに接し、イオンを取り込む電極の電位を、プラズマの電位に対して引き出しエネルギとは別に調節可能とすることで、電極材料自体のスパッタを最小限におさえ、電極に堆積する堆積物を除去する適切な入射イオンエネルギとすることができる。またこの操作により、プラズマからイオンを取り込む電極表面に形成されるイオンシース内の電界強度を高めることができ、引き出されるイオン電流密度を増加させることができる。
請求項（抜粋）：
プラズマ状態の気体から電界によりイオンを引き出し、高速粒子線を得る高速粒子線発生装置において、プラズマ発生手段と前記プラズマの電位を規定する電極と前記プラズマに接し、イオンを取り出す電極と前記イオンを取り出す電極に近接し、イオンの加速を行う電極から構成され、前記プラズマに接する側の電極の電位を前記プラズマの電位に対し、調節可能な手段を有する事を特徴とする高速粒子線発生装置。
IPC (2件)：
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