特許
J-GLOBAL ID：200903039903868642
トラップ装置及びその再生方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-353177
公開番号（公開出願番号）：特開平10-176665
出願日： 1996年12月16日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：
【要約】【課題】 トラップの再生処理を能率良くかつ迅速に行って、排気系の真空ポンプや排ガス処理装置の長寿命化及び運転の信頼性と安全性の向上、さらには、設備や運転コストの低減を図ることができるトラップ装置及びその再生方法を提供する。【解決手段】 気密チャンバ10から真空ポンプ12により排気する排気経路14に配置され、排ガス中の成分を付着させて除去するトラップ部18を有するトラップ装置において、排気経路に隣接してトラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路16が設けられ、トラップ部を排気経路と洗浄経路に切り替える切替手段30が設けられている。
請求項（抜粋）：
気密チャンバから真空ポンプにより排気する排気経路に配置され、排ガス中の成分を付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路が設けられ、前記トラップ部を前記排気経路と前記洗浄経路に切り替える切替手段が設けられていることを特徴とするトラップ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F04B 37/16 C
, B08B 3/04 Z
