特許
J-GLOBAL ID：200903039909478838
電圧分布測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田北 嵩晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-274843
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102296
出願日： 1992年09月21日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【目的】 電気光学効果を利用し、さらに、位相共役波を用いて、LSIなどの二次元の電圧分布、及び、その高速な変化を測定する装置に関するものである。【構成】 集積回路などの被測定対象1は電気信号源10からの電気信号により電圧分布を生じ、被測定対象1の周囲に電界が発生する。この電界により起こる被測定対象1近傍に配置した電気光学結晶3の屈折率変化を、電気信号源10に同期したパルスレーザー光を電気光学結晶3に照射し、レーザー光の位相変調として検出する。被測定対象1の電圧分布を高空間分解能で測定するために、位相変調を受けたレーザー光の近視野像の波面を位相共役波によって再現させる。その位相共役波を参照光と干渉させることにより、電圧分布を光強度分布として検出することができる。さらに、電気信号源10からのトリガー信号に遅延をかけることにより、電圧分布の変化を測定することができる。
請求項（抜粋）：
パルスレーザー装置と、電気光学結晶と、遅延装置とを有する電気光学サンプリング装置に対して、被測定対象の空間的に不規則な電圧分布により生じたレーザー光の空間的位相変調、つまり、波面の空間的乱れを再現するための位相共役波発生光学系と、前記レーザー光の波面の空間的乱れを光強度分布として検出するための干渉光学系と、前記光強度分布を検出するための面型光検出装置と、前記面型光検出装置で検出した光強度分布信号を処理するための信号処理装置とを備えていることを特徴とする電圧分布測定装置。
IPC (3件)：
G01R 19/00
, G01R 31/302
, H01S 3/00
