レーザトリミング方法及びレーザトリミング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤巻正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-141311
公開番号（公開出願番号）：特開2001-326112
出願日： 2000年05月15日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】【課題】抵抗体に損傷を与えることなく、トリミング精度を向上し、更に高速で効率よく加工が行えるレーザトリミング方法及び装置を提供する。【解決手段】レーザトリミング方法において、レーザパルス照射期間の間の休止時間の初期設定値をT、抵抗体の電気抵抗値における最終目標値とレーザトリミング中の測定値との差をΔRfm、1回のレーザパルス照射により変化する前記電気抵抗値の変化量をΔRとし、前記ΔRfmが前記ΔR以下となったとき、その直前のレーザパルス照射から次のレーザパルス照射までの休止時間Tendを、Tend=ΔRfm/ΔR×Tとする。

請求項（抜粋）：

抵抗体の電気抵抗値を測定しながらレーザパルスを間欠的に照射することにより前記抵抗体のトリミングを行うレーザトリミング方法において、前記抵抗体の電気抵抗値における最終目標値とレーザトリミング中の測定値との差ΔRfmと、1回のレーザパルス照射により変化する前記電気抵抗値の測定値の変化量ΔRとに関連づけてレーザパルスの照射期間の間の休止時間を決定することを特徴とするレーザトリミング方法。

IPC (4件)：

H01C 17/22 , B23K 26/00 , H01L 27/01 321 , B23K101:36

FI (5件)：

H01C 17/22 D , B23K 26/00 C , B23K 26/00 N , H01L 27/01 321 , B23K101:36

Fターム (10件)：

4E068AC01 , 4E068CA03 , 4E068CB01 , 5E032BA04 , 5E032BB01 , 5E032CA01 , 5E032CB03 , 5E032TA03 , 5E032TB02 , 5E032TC01

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平3-210989
特開昭52-087654
特開平4-261872

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審査官引用 (6件)

特開平3-210989
特開昭52-087654
特開平4-261872

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