酸化不動態膜の形成方法及びフェライト系ステンレス鋼並びに流体供給システム及び接流体部品

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福森久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-150196
公開番号（公開出願番号）：特開平7-233476
出願日： 1994年06月30日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：

【要約】【目的】複合電解研磨を行うことなく、最表面にクロム酸化物からなる層を有する酸化不動態膜を形成することが可能な不動態膜形成方法を提供すること。金属汚染フリー、放出ガス特性、非触媒性及び耐腐食性に優れた超高純度流体供給システム、プロセス装置、接流体部品を提供すること。【構成】 Mn:0.03重量%以下、S:0.001重量%以下、Cu:0.05重量%以下、C:0.01重量%以下、Al:0.01重量%以下であるフェライト系ステンレス鋼の表面を電解研磨し、次いで、不活性ガス中においてベーキングを行うことにより該ステンレス鋼の表面から水分を除去し、次いで、不活性ガスと、500ppb〜2%のH2Oガスとの混合ガス雰囲気中において、300°C〜600°Cの温度で熱処理を行うことにより最表面に非晶質のクロム酸化物からなる層を有する酸化不動態膜を形成することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

フェライト系ステンレス鋼の表面を電解研磨し、次いで、不活性ガス中においてベーキングを行うことにより該ステンレス鋼の表面から水分を除去し、次いで、不活性ガスと、500ppb〜2%のH2Oガスとの混合ガス雰囲気中において、300°C〜600°Cの温度で熱処理を行うことにより最表面に非晶質のクロム酸化物からなる層を有する酸化不動態膜を形成することを特徴とするフェライト系ステンレス鋼への酸化不動態膜の形成方法。

IPC (5件)：

C23C 16/40 , C21D 1/76 , C22C 38/00 302 , C22C 38/40 , C23C 16/02

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-285049
特開平1-180946
特開平2-085358

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