特許
J-GLOBAL ID：200903039922367689
走査型近接場顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-117210
公開番号（公開出願番号）：特開2002-310881
出願日： 2001年04月16日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：
【要約】【課題】 先端に微小開口を有するカンチレバーを用いた走査型近接場顕微鏡において、照射や集光の効率がよく、カンチレバーの変位検出光が光信号のノイズにならず、操作性の良い装置を提供する。【解決手段】 先端に微小開口を有するカンチレバー1と、カンチレバーの変位を検出するための光源8と検出器9を有する光学的変位検出手段7と、サンプル14と探針先端との距離制御を行うための微動機構15と、サンプル14と探針先端との接近させる粗動機構34と、サンプル表面から透過または反射した光信号を検出するための光検出器22,31により走査型近接場顕微鏡を構成し、光学的変位検出手段7の光源8からの光をカンチレバー1の背面に集光させ、一部の光を探針先端に導入し、近接場を発生させるための励起光源にも使用した。
請求項（抜粋）：
光透過性の探針部が設けられたカンチレバーと、カンチレバーの変位を検出するための光源と検出器を有する光学的変位検出手段と、サンプルと探針先端との距離制御を行うための微動機構を少なくとも有し、前記光学的検出手段によりカンチレバーの変位を検出しながら、サンプルと探針先端の距離制御を行い、前記探針部に光を入射して探針先端部からサンプルに近接場光を照射し、サンプルの光学特性を測定する走査型近接場顕微鏡において、光学的変位検出手段の光源が近接場光発生用の光源を兼ねることを特徴とする走査型近接場顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 13/14 A
, G12B 1/00 601 C
