光学変位センサー、光学変位測定装置および光学素子

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：松島理 , 河野隆一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-173124
公開番号（公開出願番号）：特開2004-020277
出願日： 2002年06月13日
公開日（公表日）： 2004年01月22日
要約：

【課題】本発明の目的は、簡素な構成により小型な光学変位センサーを実現するとともに、内径の小さな円筒状部材等の内面の検査が簡易かつ高精度にできる光学測定装置およびこれに適した光学素子を提供することである。【解決手段】本発明に係る光学変位センサー1は、光源2と、光源からの光を集光するための曲面3aと当該光の進行方向を変えるための反射面3bを一体に成形した第1の光学素子3と、第1の光学素子3を通過し測定面より反射された光を集光するための曲面4aと当該光の進行方向を変えるための反射面4bを一体に成形した第2の光学素子4と、第2の光学素子4を通過した光を検出する位置検出素子5を有するものであり、この第1の光学素子3と第2の光学素子4により光路を構成することにより小型の光学変位センサーを実現する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源と、光源からの光を集光するための曲面と当該光の進行方向を変えるための反射面を一体に成形した第1の光学素子と、第1の光学素子を通過し測定面より反射された光を集光するための曲面と当該光の進行方向を変えるための反射面を一体に成形した第2の光学素子と、第2の光学素子を通過した光を検出する位置検出素子、を有する光学変位センサー。

IPC (4件)：

G01B11/00 , G01B11/30 , G02B3/00 , G02B5/08

FI (4件)：

G01B11/00 B , G01B11/30 H , G02B3/00 Z , G02B5/08 A

Fターム (16件)：

2F065AA24 , 2F065AA49 , 2F065AA53 , 2F065BB08 , 2F065CC00 , 2F065FF09 , 2F065GG04 , 2F065GG07 , 2F065JJ03 , 2F065JJ16 , 2F065MM03 , 2F065MM04 , 2H042DA01 , 2H042DA09 , 2H042DB14 , 2H042DE09

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-102727
特開平3-033606
光方向変換装置およびそれを用いた光電スイッチ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-186582 出願人：株式会社キーエンス

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