特許

J-GLOBAL ID：200903039936962440

保持装置及びこれを用いた装置

発明者： 泉 誠 ,  小山内 英司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-338804
公開番号（公開出願番号）：特開平6-182644
出願日： 1992年12月18日
公開日（公表日）： 1994年07月05日
要約：

【要約】【目的】 高い保持力と剛性を有する保持装置、及びこれを有するステージ装置等の装置の提供。【構成】 通常状態では弾性ヒンジ6とクランパ2からなる保持機構により軸1の周囲がクランパ2によって押圧保持されている。クランパ2には圧電素子3の変位がてこ機構で伝達されようになっており、圧電素子3を駆動することによりクランパ2が軸1の周囲から離れて保持が解除される。

請求項（抜粋）：

軸の周囲を押圧して軸を保持する保持機構と、該保持機構による軸の押圧力を解除する解除機構を有することを特徴とする保持装置。