特許
J-GLOBAL ID：200903039943302145
アライメント方法とその装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-143102
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017898
出願日： 1994年06月24日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハのアライメント方法とその装置に関し、オリエンテーションフラットの長さ変動に対応する。【構成】 オリエンテーションフラット71の長さLまたはオリエンテーションフラット71の両端とウェーハ7の中心とのなす角度βまたはウェーハ7の中心からオリエンテーションフラット71までの距離dを検出する。長さLまたは角度βまたは距離dの値により位置決めした位置決め部材4と、所定位置に配設した固定ピン5と、可動ピン3とでウェーハ7を挟む。ウェーハ載置用回動テーブル,ウェーハ7に向けて往復動するセンタリング部材と可動ピン3,部材4,固定ピン5,オリエンテーションフラット検出センサと、それらの動作制御部を具え、該センサにてオリエンテーションフラット71の長さまたは角度βまたは距離dを検出して部材4を所定位置に設定し、可動ピン3と部材4と固定ピン5とウェーハ7を挟むようにした。
請求項（抜粋）：
オリエンテーションフラット(71)を有する円形ウェーハ(7)のアライメントに際し、該オリエンテーションフラット(71)の長さを検出し、該オリエンテーションフラット(71)が当接するオリエンテーションフラット位置決め部材(4) を該長さによって決まる所定位置に配設し、該位置決め部材(4) と該ウェーハ(7) の円形部の直径によって決まる所定位置に配設した固定ピン(5) と該ウェーハ(7) の中心に向けて移動する可動ピン(3) とで該ウェーハ(7) を三方から挟むこと、を特徴とするアライメント方法。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B23Q 17/22
, G05D 3/10
, H01L 21/027
