特許
J-GLOBAL ID：200903039953370114
光電式エンコーダ及びその受光モジュールの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-129320
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321096
出願日： 1999年05月10日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：
【要約】【課題】 受光側インデックス格子と受光素子を密接させて高い受光感度を得ることを可能とした受光モジュールを備えた光電式エンコーダを提供する。【解決手段】 格子12が形成された反射型スケール1、これに光照射する光源2、スケール1からの反射光を受光する受光モジュール3を有し、受光モジュール3は、透明基板31と、これに形成されたパッド電極35及び信号配線36と、この透明基板31にパッド電極35及び信号配線36の必要部分を露出させた状態にパターン形成された所定厚みのSOG膜37と、この上に形成された光源側インデックス格子32及び受光側インデックス格子33と、受光側インデックス格子33上に位置するように基板31に搭載され、バンプ電極38がパッド電極35に接続された受光素子チップ34とを有する。
請求項（抜粋）：
スケール格子が形成された反射型スケールと、この反射型スケールに光を照射するための光源と、この光源からの光を変調して前記反射型スケールを照射すると共に、前記反射型スケールからの反射光を変調して取り出して受光する受光モジュールとを有し、前記受光モジュールは、透明基板と、この透明基板に形成されたパッド電極及びこのパッド電極を外部に接続するための信号配線と、前記パッド電極及び信号配線が形成された透明基板に前記パッド電極及び信号配線の必要部分を露出させた状態にパターン形成された所定厚みの透明膜と、この透明膜上に形成された、前記光源から前記反射型スケールに照射される光を変調するための光源側インデックス格子及び前記反射型スケールからの反射光を変調するための受光側インデックス格子と、前記受光側インデックス格子上に位置するように前記透明基板に搭載され、バンプ電極が前記パッド電極に接続された受光素子チップとを有することを特徴とする光電式エンコーダ。
Fターム (12件)：
2F103BA37
, 2F103CA01
, 2F103CA03
, 2F103CA05
, 2F103DA12
, 2F103EA17
, 2F103EA19
, 2F103EB04
, 2F103EB06
, 2F103EB12
, 2F103EB32
, 2F103EB37
