特許
J-GLOBAL ID：200903039953787252
ペレットボンディング用の接着剤塗布装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩川 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-352416
公開番号（公開出願番号）：特開平6-170304
出願日： 1992年12月11日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：
【要約】【目的】 1回吐出当りの接着剤の塗布量のばらつきを少なくすること。【構成】 ペレットボンディング用の接着剤塗布装置10において、シリンジ15内に摺動自在に配設されたピストン21と、ピストン21をシリンジ15内で摺動方向に進退動させるステッピングモータ24と、ステッピングモータ24(の駆動)を制御することにて上記ピストン21を位置制御する回転制御部25とを有してなるもの。
請求項（抜粋）：
ペレットボンディング用接着剤を貯留しているシリンジの先端吐出ノズルを基板に対して接近/離隔移動し、上記吐出ノズルから吐出された接着剤を基板上に塗布するペレットボンディング用の接着剤塗布装置において、上記シリンジ内に摺動自在に配設されたピストンと、上記ピストンを上記シリンジ内で摺動方向に進退動させる駆動部と、上記駆動部(の駆動)を制御することにて上記ピストンを位置制御する制御部とを有してなることを特徴とするペレットボンディング用の接着剤塗布装置。
IPC (4件)：
B05C 5/00 101
, B05D 1/26
, B05D 7/24 301
, H01L 21/52
