特許
J-GLOBAL ID：200903039958580028
浸漬洗浄装置および材料片洗浄方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-075914
公開番号（公開出願番号）：特開平7-275815
出願日： 1994年04月14日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：
【要約】【目的】 この発明は、ガス等が装置内外に飛散するようなことは防止される浸漬洗浄装置を提供する。【構成】 この発明は、洗浄液の入った洗浄槽4が間隔をおいて配設された洗浄槽部3を有する洗浄装置本体1と、洗浄槽部3に向かって清浄気体を吹き出す吹き出し手段と、洗浄槽4から発生するガス等を清浄気体13とともに洗浄装置本体1から外部に排出する排気手段と、材料片の入ったマガジンを把持して各洗浄槽4に出し入れする搬送手段7とを備えた浸漬洗浄装置において、マガジンを把持する搬送手段7の把持部分を取り囲んで設けられ洗浄槽4から発生するガス等とともに搬送途中の材料片から発生するガス等を閉じ込め、かつ吹き出し手段からの清浄気体13の下降流とともにガス等を排気手段に導くダクト20を有するものである。
請求項（抜粋）：
洗浄液の入った洗浄槽が間隔をおいて複数配設された洗浄槽部を有する洗浄装置本体と、前記洗浄槽部の上方から洗浄槽部に向かって清浄気体を吹き出す吹き出し手段と、前記洗浄槽から発生するガスおよびミストを前記清浄気体とともに前記洗浄装置本体から外部に排出する排気手段と、材料片の入ったマガジンを把持部分で把持して前記各洗浄槽に出し入れする搬送手段とを備えた浸漬洗浄装置において、前記把持部分を取り囲んで設けられ前記洗浄槽から発生するガスおよびミストとともに搬送途中の前記材料片から発生するガスおよびミストを閉じ込め、かつ前記吹き出し手段からの前記清浄気体の下降流とともにガスおよびミストを前記排気手段に導くダクトを有することを特徴とする浸漬洗浄装置。
IPC (3件)：
B08B 3/08
, H01L 21/304 341
, H01L 21/304
