特許
J-GLOBAL ID：200903039961542790
回転カップ式塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下田 容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-349775
公開番号（公開出願番号）：特開平6-170315
出願日： 1992年12月02日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：
【要約】【目的】 インナーカップ内の圧力を短時間のうちに所定圧まで降下させることができるようにする。【構成】 アウターカップ1内にはスピンナーによって回転せしめられるインナーカップ2が配置され、このインナーカップ2の上面開口を閉塞する蓋体11下面には整流板20が取り付けられ、前記インナーカップ2の底面から開口部までの高さ(H1)は20mm以下とされ、また前記整流板20下面と半導体ウェハW表面との間隔(H2)は5mm以下となっている。
請求項（抜粋）：
アウターカップ内にスピンナーによって回転せしめられるインナーカップを配置し、このインナーカップの上面開口を閉塞する蓋体下面にインナーカップ内にセットされた板状被処理物表面に対向する整流板を取り付けた回転カップ式塗布装置において、前記インナーカップの底面から開口部までの高さは20mm以下とされ、また前記整流板の取り付け位置は板状被処理物表面との間隔が5mm以下となる位置であることを特徴とする回転カップ式塗布装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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