特許

J-GLOBAL ID：200903039966530676

圧電セラミック

発明者： 駒村 秀雄 ,  高坂 秀明
出願人/特許権者： エヌイーシートーキンセラミクス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-049229
公開番号（公開出願番号）：特開2002-252384
出願日： 2001年02月23日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】【課題】 密閉ケースに封入した圧電アクチュエータにおいて、内部電極が露出した場合に内部電極間で耐電圧の低下がみられ、内部電極間の電気絶縁性を高めた圧電アクチュエータを提供することにある。【解決手段】 内部電極が露出する素子の端面にシリコン材料を付着させることにより、内部電極間の絶縁耐電圧性能を向上させた、密閉ケースに封入した圧電アクチュエータ。

請求項（抜粋）：

圧電セラミック層が3層以上と内部電極層が2層以上となるよう積層した積層体と、この積層体の側面に内部電極が1層おきに対向電極となるように絶縁体層の形成または内部電極の一部を形成せずに圧電セラミックの一部を絶縁体層とし、その上に外部電極を形成した積層型圧電セラミックを密閉ケースに封入した圧電アクチュエータにおいて、積層型圧電セラミックの表面に露出する内部電極の一部または全部に、絶縁材料を付着させたことを特徴とする圧電アクチュエータ。