特許
J-GLOBAL ID：200903039966853190
PLC光送受信モジュール及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-113830
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300960
出願日： 1997年05月01日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】 PLCプラットフォームを用いた光送受信モジュールの高信頼度化実装技術に関するものであり、具体的には該光送受信モジュールの低コストな封止技術を提供することを課題とする。【解決手段】 PLC(Planar Lightwave Circuit)プラットフォームを用いたハイブリッド光送受信モジュール10において、上記モジュール表面に真空紫外光を照射し、テトラアルコキシシラン溶液を塗布し、ひき続き空気中で172nm以下の真空紫外光を照射し、該PLCプラットフォームを用いたモジュール表面にシリカ保護膜を均一に形成してなる。
請求項（抜粋）：
PLC(Planar Lightwave Circuit)プラットフォームを用いたハイブリッド光モジュールにおいて、上記モジュール表面に真空紫外光を照射し、テトラアルコキシシラン溶液を塗布し、ひき続き空気中で172nm以下の真空紫外光を照射し、該PLCプラットフォームを用いたモジュール表面にシリカ保護膜を均一に形成してなることを特徴とするPLC光送受信モジュール。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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