特許
J-GLOBAL ID:200903039967238251

微動駆動装置及びそれを用いた情報記録及び/又は再生装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 若林 忠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-330425
公開番号(公開出願番号):特開平7-191756
出願日: 1993年12月27日
公開日(公表日): 1995年07月28日
要約:
【要約】【目的】 一対の圧電素子を用いた微動駆動機構における固有振動数を上げて、高速で正確な微動駆動を行なわせる。【構成】 可動部の駆動方向の前後に、電極配置方向が互いに一致している一対の圧電素子を取付け、該一対の圧電素子に電圧を印加して駆動方向に互いに伸縮させて可動部を駆動する微動駆動機構において、一対の圧電素子にそれぞれ印加する駆動電圧の位相をずらすことによって駆動方向の張力を増大させることを特徴とする。
請求項(抜粋):
可動部の駆動方向の前後に、それぞれの電極配置方向を互いに一致させて1対の圧電素子を取付け、該1対の圧電素子の伸縮を印加する駆動電圧によって互いに逆動作させる微動駆動機構において、前記駆動電圧の位相をずらせて印加する手段を備えることを特徴とする微動駆動装置。
IPC (5件):
G05D 3/00 ,  G05D 3/12 301 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/68 ,  H01L 41/09

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