特許

J-GLOBAL ID：200903039967599742

乾燥炉壁面の被処理体貫通部シール装置

発明者： 中谷 律 ,  塩崎 洸
出願人/特許権者： 大阪酸素工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-296029
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132661
出願日： 1997年10月28日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】 イナート方式の乾燥炉内の圧力バランスの変化に対して、バランスの矯正を行なうためのシール装置により、窒素ガスの供給量の低減と高濃度の溶剤を含んだガスの放出の低減を行なうことができるようにする。【解決手段】 乾燥炉2の壁面に設けられた被処理体1が貫通し得る第1の開口部4を通るガスの流通を減少するための、乾燥炉壁面の被処理体貫通部シール装置である。乾燥炉2の第1の開口部4に連通して設けられており、被処理体1が貫通し得る第2の開口部37を有するシールボックス5と、シールボックス5の第2の開口部37に連通して設けられており被処理体1が貫通し得る第3の開口部18を有する圧力調整室9と、シールボックス5内に不活性ガスを供給する手段と、圧力調整室9内に空気を供給および/または排除する手段と、第1の開口部4を通るガスの流通を検知する手段と、検知したガスの流通量を低減するための圧力調整室9の圧力調整手段と、を具備する。

請求項（抜粋）：

乾燥炉の壁面に設けられた被処理体が貫通し得る第1の開口部を通るガスの流通を減少するための、乾燥炉壁面の被処理体貫通部シール装置であって、該乾燥炉の該第1の開口部に連通して設けられており、該被処理体が貫通し得る第2の開口部を有するシールボックスと、該シールボックスの外側に配設された第3の開口部を有する圧力調整室と、該シールボックス内に不活性ガスを供給する手段と、該第1の開口部を通るガスの流通を検知する手段と、検知したガスの流通量を低減するための該圧力調整室の圧力調整手段と、を具備するシール装置。