特許
J-GLOBAL ID：200903039971556799
液体噴射記録ヘッド用基体、その製造方法および液体噴射記録ヘッドならびに液体噴射記録装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-277356
公開番号（公開出願番号）：特開平6-055737
出願日： 1992年10月15日
公開日（公表日）： 1994年03月01日
要約：
【要約】【目的】良好な吐出特性に必要な放熱性を有し、耐久性に優れた液体噴射記録ヘッド用基体8を提供する。【構成】液体噴射記録ヘッド用基体8に使用される各種の層をバイアスECRプラズマCVD法で形成する。
請求項（抜粋）：
支持体と、前記支持体上に設けられ記録用の液体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する発熱抵抗体と、所定の間隔をおいて前記発熱抵抗体に接続された一対の配線電極とを少なくとも有する液体噴射記録ヘッド用基体であって、バイアスECRプラズマCVD法によって形成された膜で構成された層を有することを特徴とする液体噴射記録ヘッド用基体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
審査官引用 (3件)
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特開昭64-055256
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特開昭63-273323
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特開平2-250976
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