特許

J-GLOBAL ID：200903039982903792

単分散性共重合体及びその製造方法

発明者： 渡辺 修 ,  山田 素行
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 滝田 清暉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-218472
公開番号（公開出願番号）：特開平6-041245
出願日： 1992年07月24日
公開日（公表日）： 1994年02月15日
要約：

【要約】【目的】レジスト材料用ポリマーとしての要求性能を充たす、単分散性の新規な共重合体及びその工業的製造方法を提供すること。【構成】下記化1で表される単位及び下記化2で表される単位からなる単分散性共重合体。【化1】【化2】

請求項（抜粋）：

下記化1で表される単位及び下記化2で表される単位からなる単分散性共重合体。【化1】【化2】

IPC (3件)：

C08F212/14 MJY ,  C08F 8/00 MFZ ,  C08F297/02 MRD