特許
J-GLOBAL ID:200903039983147703

静電気検知装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 原田 信市
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-221314
公開番号(公開出願番号):特開平10-062471
出願日: 1996年08月22日
公開日(公表日): 1998年03月06日
要約:
【要約】【課題】 粉粒体等がセンサ内に入り込むのを的確に防止して精度良く検出できるとともに、検出個所が限定されなく、設置の取り扱いが容易な静電気検知装置を提供する。【解決手段】 静電気検出電極及び検出回路を内蔵したセンサケース14をプローブ1内に収容して、センサケース14の先端部に設けられた検出孔をプローブ1の先端部に設けられた窓孔10の近くに臨ませ、プローブ1の先端部の内面とセンサケース14の外面との間に、窓孔10を開口とする空隙17を形成する。この空隙17へプローブ1の内側からエアーを供給し窓孔17から噴出させてエアーパージする第1のエアー供給系と、センサケース14内にエアーを供給し検出孔から噴出させてエアーパージする第2のエアー供給系とを設ける。
請求項(抜粋):
静電気検出電極及び検出回路を内蔵したセンサケースをプローブ内に収容して、センサケースの先端部に設けられた検出孔をプローブの先端部に設けられた窓孔の近くに臨ませ、プローブの先端部の内面とセンサケースの外面との間に、前記窓孔を開口とする空隙を形成し、またこの空隙へプローブの内側からエアー等の気体を供給して前記窓孔から噴出させる第1の気体供給系と、前記センサケース内にエアー等の気体を供給して前記検出孔から噴出させる第2の気体供給系とを設けたことを特徴とする静電気検知装置。
IPC (2件):
G01R 29/24 ,  G01N 27/60
FI (2件):
G01R 29/24 A ,  G01N 27/60 A

前のページに戻る