特許
J-GLOBAL ID：200903039987606087
走査電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-168403
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343021
出願日： 1992年06月03日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 絶縁体試料などの観察に適した走査電子顕微鏡を提供する。【構成】 励磁電流指示器11により指示する試料照射電流を変化させると、制御回路10よりの制御信号に基づいて制御電圧発生器13より制御電極85に印加される電圧が変化すると共に、制御回路10よりの制御信号に基づいて電源9よりシンチレータ82に印加される電圧が変化する。1次電子線の照射により試料6の表面は正または負に帯電するが、制御回路10による前述した制御により電界81の強度が照射電子線電流値に応じて最適な値に維持され、それにより帯電を生じさせないで過不足のない2次電子が試料から放出される。これにより、常にチャージアップのない像を観察できる。
請求項（抜粋）：
電子銃から発生した電子線を集束し、該電子線を試料上で2次元的に走査し、該走査により試料から発生する2次電子を2次電子検出器で検出し、該検出した信号に基づいて2次電子像を表示する走査電子顕微鏡において、前記2次電子を前記2次電子検出器に導くための電界の強度を1次電子線の試料への照射電流に連動して変化させる手段を備えた走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
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