特許
J-GLOBAL ID：200903039995309660
成膜膜厚制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
縣 浩介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-334108
公開番号（公開出願番号）：特開平6-025851
出願日： 1991年11月22日
公開日（公表日）： 1994年02月01日
要約：
【要約】【目的】 成膜工程における膜厚制御を高精度で行えるようにすることを目的とする。【構成】 成膜室内にモニターガラスを配置し、モニターガラスに形成される成膜の膜厚を成膜の反対側からモニターガラスに特定波長の光を照射し、上記モニターガラスからの反射光の光量を検出し、成膜室内に水晶振動子を配置し、該水晶振動子の共振周波数を測定し、光量データを共振周波数で微分しその微分値が0になった時点が求める膜厚として、蒸着作業を停止するようにした成膜膜厚制御装置。
請求項（抜粋）：
成膜室内にモニターガラスを配置し、モニターガラスに形成される膜に特定波長の光を照射する手段と、上記モニターガラスからの反射光或は透過光の光量を検出する手段と、成膜室内に水晶振動子を配置し、該水晶振動子の共振周波数を測定する手段と、上記検出手段からの光量データを上記測定手段から得られる共振周波数で微分しその微分値が0になった時点を検出する手段と、同検出手段からの検出信号により蒸着作業を停止するように制御する制御手段を設けたことを特徴とする成膜膜厚制御装置。
IPC (5件)：
C23C 14/54
, C23C 14/24
, G01B 11/06
, G01N 21/41
, H01L 21/203
