特許
J-GLOBAL ID:200903040002985990

被処理物への気体供給装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 名嶋 明郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-311863
公開番号(公開出願番号):特開2001-133155
出願日: 1999年11月02日
公開日(公表日): 2001年05月18日
要約:
【要約】【課題】 被処理物の全面に均一に熱風、冷風、熱風、雰囲気ガス等を作用させることができる被処理物への気体供給装置を提供する。【解決手段】下面に多数の気体供給口14を備えた気体供給室12を、被処理物Wの上方に設け、この気体供給室12にダクト13を介して送り込まれた熱風、冷風、雰囲気ガス等の気体を、被処理物Wの表面に均一に吹き付ける。
請求項(抜粋):
下面に複数の気体供給口を備えた気体供給室を、被処理物の上方に設け、この気体供給室に送り込まれた気体を気体供給口から被処理物の表面に吹き付けることを特徴とする被処理物への気体供給装置。
IPC (2件):
F26B 21/00 ,  F26B 17/28
FI (2件):
F26B 21/00 C ,  F26B 17/28 Z
Fターム (8件):
3L113AA02 ,  3L113AB02 ,  3L113AC31 ,  3L113BA04 ,  3L113CB12 ,  3L113DA02 ,  3L113DA10 ,  3L113DA11
引用特許:
審査官引用 (1件)

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