特許
J-GLOBAL ID：200903040004638309
集束イオンビーム装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-157612
公開番号（公開出願番号）：特開平7-073839
出願日： 1994年07月08日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 集束イオンビーム装置において、イオンビーム照射による2次荷電粒子の発生効率の相違によって生じる、試料の明るい領域と暗い領域を同時に観察できるようにする。【構成】 2次荷電粒子検出器の出力信号を、基準電圧と比較し、その結果に基づいて異なる係数を出力信号にかけることによって、信号を画像表示装置の入力信号として最適化する。【効果】 試料の明るい領域と暗い領域を同時に観察できるようになった。
請求項（抜粋）：
イオンを発生するイオン源と、前記イオンを集束イオンビームとするイオンレンズ系と、前記集束イオンビームを走査する偏向電極と、試料の表面から放出される2次荷電粒子の検出器と、前記検出器の検出信号を増幅する増幅器と、2次荷電粒子の平面強度分布に基づいて試料表面に形成されているパターンを表示する画像表示装置よりなる集束イオンビーム装置において、前記増幅器が、基準電圧源と、その基準電圧源の出力と2次荷電粒子検出器の検出信号に基づいた入力信号とを比較する比較器と、前記比較器の出力信号によって演算利得が変えられる差動増幅器からなり、前記増幅器において、検出信号の値によって増幅率が異なる信号処理をすることを特徴とする集束イオンビーム装置。
IPC (3件)：
H01J 37/22 502
, H01J 37/256
, H01J 37/28
