特許
J-GLOBAL ID：200903040008505010
表面検査装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-284577
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166549
出願日： 1996年10月08日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】鋼板等のように連続的に製造されて送られるシ-ト状製品の表面の各種疵をオンラインで連続的に検査することは困難であった。【解決手段】鋼板5からの反射光を正反射光検出部3と散乱反射光検出部4で検出し、検出した正反射光と散乱反射光の偏光画像信号を信号処理部11で比較して鋼板4の凹凸性の疵を検出する。また、信号処理部11は正反射光検出部3の検光子10a〜10cを透過した光を受光した3個のリニアアレイカメラ9a〜9cからの画像信号を処理して、エリプソパラメ-タを演算し、模様状疵の有無を検出する。
請求項（抜粋）：
投光部と正反射光検出部と散乱反射光検出部及び信号処理部とを有し、投光部は被検査面の幅方向全体に偏光を入射し、正反射光検出部は被検査面からの反射光の正反射光の光路に設けられ、散乱反射光検出部は被検査面からの反射光の散乱反射光の光路に設けられ、正反射光検出部と散乱反射光検出部の少なくともいずれか一方は入射した光を3本のビ-ムに分離する光学系と、分離された3本のビ-ムの光路にそれぞれ設けられ、それぞれ異なる方位角を有する検光子と、各検光子を透過した光を受光する撮像手段とを有し、信号処理部は正反射光検出部と散乱反射光検出部からの画像信号を比較するとともに、検光子を透過した光を受光した3個の撮像手段からの画像信号を処理して、被検査面の表面反射光のエリプソパラメ-タである振幅反射率比tanΨと位相差Δを示すcosΔを演算し、正反射光と散乱反射光の比較結果及び2つのエリプソパラメ-タtanΨ,cosΔから被検査面の表面特性を評価することを特徴とする表面検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/89
, G01N 21/21
, G06T 7/00
G01N 21/89 B
, G01N 21/21 Z
, G06F 15/62 400
