特許
J-GLOBAL ID：200903040009315176
微小変位素子及びその製造方法、及びそれを用いたトンネル電流検出装置、情報処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-107186
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302874
出願日： 1993年04月12日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 トンネル電流検出装置や走査型トンネル顕微鏡に用いられ、大気中における変位特性の経時変化を防止した微小変位素子を提供する。【構成】 圧電体膜4,6と電極膜3,5,7とを積層したカンチレバーの表面に、保護膜としてフロロカーボン膜12を設けた構成を特徴とする微小変位素子。
請求項（抜粋）：
圧電体膜と該圧電体膜を逆圧電効果により変位させるための電極とを積層してなるカンチレバー(片持ち梁)の上面自由端部に情報入出力用マイクロティップを具備する微小変位素子において、上記カンチレバーを構成する圧電体膜の表面にフロロカーボン膜を設けたことを特徴とする微小変位素子。
IPC (4件)：
H01L 41/09
, G11B 9/00
, H01J 37/28
, G01B 21/30
