特許
J-GLOBAL ID：200903040012575499
トンネル電流検出装置における疑似電流防止装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 健二 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-263746
公開番号（公開出願番号）：特開平11-101807
出願日： 1997年09月29日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：
【要約】【課題】トンネル電流検出ラインとそのシールドとの間の容量結合による疑似電流を防止して、ゲインを下げることなく、正確なトンネル電流を確実に検出する。【解決手段】探針3でのトンネル電流が同軸線5の内側のトンネル電流検出ライン5aを介してI/V変換アンプ6に流れ、さらに、その後段で差動アンプ7により、I/V変換アンプ6に流れ込んだ電流に相当する電圧が検出される。トンネル電流検出ライン5aは同軸線5の外側のシールド線5bによりシールドされているとともに、このシールド線5aがバイア電圧電源8にそれぞれ接続されている。I-V特性やBEEM電流のスペクトル等のバイアス電圧を比較的速くスイープする場合は、トンネル電流検出ライン5aのシールド線5bがバイアス電位になるので、トンネル電流検出ライン5aとシールド線5bとの間の容量結合がなくなり、その結果容量結合による疑似電流がなくなる。
請求項（抜粋）：
試料に対向して試料表面を走査する探針と、この探針にトンネル電流検出ラインを介して接続され、かつこのトンネル電流検出ラインに流れる電流を電圧に変換するI-V変換アンプと、このI-V変換アンプからの電圧を検出する差動アンプとを少なくとも備え、探針を試料に接近させるとともに、これらの探針と試料との間にバイアス電圧電源でバイアス電圧をかけることにより、探針と試料間を通って流れるトンネル電流をトンネル電流検出ラインによって検出するトンネル電流検出装置において、前記トンネル電流検出ラインを同軸線の内側の導線で構成するとともに、この同軸線の外側のシールド線を前記バイアス電圧電源に接続していることを特徴とするトンネル電流検出装置における疑似電流防止装置。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, H01J 37/28
G01N 37/00 B
, G01B 7/34 Z
, H01J 37/28 X
