特許
J-GLOBAL ID：200903040016032562
ミラ-装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-184759
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003497
出願日： 1992年06月19日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【目的】光源から出る放射光の光束を実験試料に確実に集光する。【構成】磁歪素子12を有する荷重作用機構10a,10b,10cをミラ-1の長手方向に3個所以上設けてミラ-1を湾曲させる。このミラ-1を湾曲させるときに、あらかじめ荷重作用機構の取付位置に応じて定められた変位量と歪ゲ-ジ21で測定した変位量との差により各荷重作用機構の磁歪素子12の出力を制御してミラ-長手方向の曲率を可変し、ミラ-1の反射面を楕円面に近似させる。
請求項（抜粋）：
ミラ-の長手方向に曲げモ-メントを与えて反射面を湾曲させ、ビ-ムラインからの放射光を反射して実験試料に集光するミラ-装置において、ミラ-の長手方向に磁歪素子を使用した荷重作用機構を3個所以上設けたことを特徴とするミラ-装置。
IPC (3件)：
G21K 1/06
, G01N 23/00
, G02B 5/10
