特許
J-GLOBAL ID:200903040018667565

気体ばね式除振装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 前田 弘 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-178005
公開番号(公開出願番号):特開2002-372096
出願日: 2001年06月13日
公開日(公表日): 2002年12月26日
要約:
【要約】【課題】 搭載盤3等(被支持体)を上下方向に支持する上下方向の空気ばねS1と、水平方向に支持する水平方向の空気ばねS2とを備えたアイソレータ2において、上下及び水平方向の位置決め精度を確保しながら、尚かつ、できるだけ柔らかなばね特性を得て、除振性能のさらなる向上を図る。【課題手段】 アイソレータ2における上下及び水平方向の空気ばねS1,2をジンバルピストン又はドームジンバルピストンのいずれかを備えるものとする。空気ばねS1,2の空気圧をトッププレート21の振動状態に応じて変更制御し、該トッププレート21に対してその振動を打ち消すような制御振動を積極的に付加するアクティブ制振制御を行うようにしてもよい。
請求項(抜粋):
固定基台に対して、被支持体を上下方向に支持する上下方向の気体ばねと、該被支持体を水平方向に支持する水平方向の気体ばねとを設けた気体ばね式除振装置において、前記気体ばねが、前記固定基台において外方に向かって開口するように設けられた凹部と、前記凹部の開口近傍に配置されたピストンと、前記ピストンと凹部の開口周縁との間を閉塞して気体室を区画するダイヤフラムとを備えてなり、前記ピストンが、その中心軸の方向で相対的に凹部から遠くなる一側に配置された荷重受部材と、前記荷重受部材から軸方向他側に離間し、かつ中心軸に直交する任意の直交軸の周りに揺動可能に前記ダイヤフラムにより弾性的に保持された筒状のピストン本体部材とからなり、前記荷重受部材からピストン本体部材の中心孔を貫通するように軸方向他側に向かって延びる支持柱が設けられる一方、前記ピストン本体部材には、前記支持柱を囲むように軸方向他側に向かって延びる有底筒状の延出部が設けられ、前記延出部の底部において前記支持柱の先端部が枢支されていることを特徴とする気体ばね式除振装置。
IPC (3件):
F16F 15/04 ,  F16F 9/04 ,  F16F 15/02
FI (3件):
F16F 15/04 A ,  F16F 9/04 ,  F16F 15/02 A
Fターム (10件):
3J048AA05 ,  3J048AB08 ,  3J048AB11 ,  3J048AD03 ,  3J048BE02 ,  3J048DA03 ,  3J048DA04 ,  3J048EA13 ,  3J069AA27 ,  3J069EE64
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 特開平3-219141
  • 除振装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-340711   出願人:倉敷化工株式会社
審査官引用 (4件)
  • 特開平3-219141
  • 除振装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-340711   出願人:倉敷化工株式会社
  • 特開平2-021311
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