特許
J-GLOBAL ID:200903040023897072

金属シリコンの酸化精錬時に生じる排ガスの回収方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小杉 佳男 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-339693
公開番号(公開出願番号):特開平10-182126
出願日: 1996年12月19日
公開日(公表日): 1998年07月07日
要約:
【要約】【課題】本発明は、現在、排ガスとして大気中に放出しているアルゴン・ガスを、プラズマ発生用ガスにリサイクルし、精錬コストを安価にさせる「金属シリコンの酸化精錬において生じる排ガスの回収方法及び装置」を提供することを目的としている。【解決手段】溶融状態にある金属シリコンに、水蒸気を付加したアルゴン・ガスからなるプラズマ・ガスを吹き付け、該金属シリコンが含有するボロン及び炭素を酸化物として排ガス中に揮発除去するに際し、除湿及び除塵した後の排ガスに、H2 ガス及び水蒸気を一定濃度になるよう添加し、そのガスを上記プラズマ・ガスとして循環再使用する。
請求項(抜粋):
溶融状態にある金属シリコンに、水蒸気とH2 ガスの混合ガスを付加したアルゴン・ガスからなるプラズマ・ガスを吹き付け、該金属シリコンが含有するボロン及び炭素を酸化物として排ガス中に揮発除去するに際し、除湿及び除塵した後の排ガスに、H2 ガス及び水蒸気を一定濃度になるよう添加し、そのガスを上記プラズマ・ガスとして循環再使用することを特徴とする金属シリコンの酸化精錬時に生じる排ガスの回収方法。

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