特許
J-GLOBAL ID:200903040025809774

積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-105197
公開番号(公開出願番号):特開平6-283777
出願日: 1993年03月26日
公開日(公表日): 1994年10月07日
要約:
【要約】【目的】 この発明は、繰り返し駆動、高速駆動しても外部電極に不具合等が生じることがなく、長寿命を保持し、製造方法も容易にする。【構成】 圧電セラミックスと内部電極が交互に積層され、一体焼結された積層型圧電アクチュエータの内部電極と1層おきに接続される外部電極の表面に半田メッキを施したことを特徴としている。
請求項(抜粋):
圧電セラミックスと内部電極が交互に積層され、一体焼結された積層型圧電アクチュエータにおいて、内部電極と1層おきに接続される外部電極の表面に、半田メッキを施したことを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
IPC (2件):
H01L 41/09 ,  H01L 41/24
FI (2件):
H01L 41/08 Q ,  H01L 41/22 Z

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